| 번호 | 제목 |
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플라즈마 처리에 의한 표면개질이 습식세정 효율에 미치는 영향 백지영, 이명화, 송재동, 김상범, 김경수, 김성현 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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UV/O3를 이용한 표면개질이 반도체 정밀세정에 미치는 영향 송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
| 2 |
진공 플라즈마 세정기술을 이용한 나노패턴 웨이퍼의 표면세정 백지영, 송재동, 이명화, 김상범, 김경수, 김성현 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
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Dry cleaning of organic contaminants on a Si wafer surface using atmospheric& vacuum plasma 송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
