화학공학소재연구정보센터
번호 제목
92 Evaluation of Thermal Stability of ALD Precursors for Solid Electrolyte Coating
김하영, 맹선정, 박지원, 임재욱, 윤주영
한국공업화학회 2022년 봄 학술대회
91 화학증착소재(precursor) 증기압 측정 및 불확도 평가
김하영, 최은미, 맹선정, 이수연, 박지원, 윤주영
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회
90 화학증착소재(precursor)의 열분해에 따른 특성 연구
이수연, 최은미, 맹선정, 김하영, 박지원, 허영우, 윤주영
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회
89 반도체 증착소재 복합물성 측정기술 및 장비 개발
최은미, 김하영, 안지혁, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
88 화학증착소재의 실시간 측정
허훈, 유은성, 전재성, 윤주영, 박춘근
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
87 반도체/디스플레이 장비 공정부품용 코팅소재의 진단 및 신뢰성평가 기술
김민중, 이승수, 소종호, 김진태, 정낙관, 최은미, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
86 고온의 진공상태에서 열화한 반도체 소재 TTIP(Tetraisopropyl orthotitanate) 전구체의 열물성 및 ALD를 사용한 박막의 특성평가
안지혁, 신재수, 안종기, 강고루, 심섭, 김하영, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
85 반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) TEMAHf(Tetrakis-ethylmethylaminohafnium)의 진공에서의 열물성 및 박막특성평가
안지혁, 김하영, 심섭, 강고루, 안종기, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
84 반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium의 분해와 소자 특성 변화에 관한 연구
최은미, 안지혁, 강고루, 김하영, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
83 진공환경에서 OLED 소자에 사용되는 증착원료 소재의 장기간 열안정성 평가에 관한 연구
최은미, 김하영, 심섭, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회