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양축정렬된 Ni기판위에 MOCVD방법으로 완충층의 제조|Fabrication of Buffer Layer on a Cube-textured Ni Substrate by Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) method.
이영민, 이희균, 신형식, 홍계원|Young-Min Lee, Hee-Gyoun Lee, Hyung-Shik Shina, Gye-Won Hong
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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혼합 전구체를 이용한 SrTiO3 박막의 유기 금속 화합물 증착 공정에 관한 연구|Metal Organic Chemical Vapor Deposition of SrTiO3 Thin Films using the Mixed Precursors
허정식, 류현규, 조성일, 조용석, 문상흡|Jung Shik Heo, Hyun-Kyu Ryu, Sung il Cho, Yong Suk Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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유기금속 화학증착을 위한 Cu(I) 전구체의 평가|Evaluation of Cu(I) Precursors for Metal-Organic Chemical Vapor Deposition
이시우, 강상우, 한상호|Shi-Woo Rhee, Sang-Woo Kang, Sang-Ho Han
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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플라즈마 MOCVD를 이용한 SrTiO3 박막 증착 및 특성|Properties of SrTiO3 Thin Films Prepared by Plasma Enhanced Metal Organic Chemical Vapor Deposition
김도오, 최락준, 임연호, 조범철, 남기석, 한윤봉|D.O.Kim, R.J.Choi, Y.H.Im, B.C.Cho, K.S.Nahm, Y.B.Hahn
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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유기금속 화학증착을 위한 (Ba, Sr)TiO3 전구체의 평가|Evaluation of (Ba, Sr)TiO3 Precursors for Metal-Organic Chemical Vapor Deposition
이시우, 이정현, 김주영|Shi-Woo Rhee, Jung-Hyun Lee, Joo-Young Kim
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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혼합 단일 유기 금속 화합물을 이용한 SrTiO3 박막의 유기 금속 화합물 증착공정에 관한 연구|Metal Organic Chemical Vapor Deposition of strontium titanate (SrTiO3) thin films using the mixed single metal complex
류현규, 허정식, 조성일, 문상흡|Hyun-Kyu Ryu, Jung Shik Heo, Sung il Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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TiN 유기금속 화학증착 공정을 위한 tetrakis-dimethyl-amino-titanium의 열분해특성에 관한 연구|Study on thermal decomposition of tetrakis-dimethyl-amido-titanium for TiN metal-organic chemical vapor deposition
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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MOCVD 반응기에서 ZnO:Zn 박막의 증착특성에 관한 연구|A Study on the Deposition Characteristics of ZnO:Zn Thin Film in a MOCVD Reactor
박일우, 윤도영, 전병수, 유재수, 이종덕|Il-Woo Park, Do-Young Yoon, Byung-Soo Chun, Jae-Soo Yoo, Jong-Duk Lee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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FED용 ZnO:Zn 박막제조를 위한 MOCVD 반응기의 해석|An Analysis of MOCVD Reactor for ZnO:Zn Thin Film Phosphor of FED
박일우, 윤도영, 한춘, 전병수, 유재수|I.-W.Park, D.-Y.Yoon, C.Han, B.S.Jeon, J.-S.Yoo
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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MOCVD 공정에 있어서 구리(Ⅰ) 전구체들의 열적 안정성과 반응 메카니즘에 관한 연구|Thermal stability and reaction mechanism of Cu(Ⅰ) precursors in the metal organic chemical vapor deposition
박만영, 이시우|Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
