화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 반도체 배선용 알루미늄 전구체의 비교 평가 연구
박영재, 윤주영, 강상우, 성대진, 신용현, 양일두, 심재용, 오재철
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
1 유기금속 화학증착법을 이용한 BST 박막의 제조|Chemical Vapor Deposition of Barium Strontium Titanium Thin Films using New Organometallic Precursor
이정현, 박만영, 심재용, 이시우|Jung-Hyun Lee, Man-Young Park, Jae-Young Shim, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회