| 11 |
SiOC low k thin film via solution process.
김정주, 이윤주, 김수룡, 김영희, 최두진
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
| 10 |
전자종이용 OTFT 기반 능동형 하판 인쇄기술
송정근
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
| 9 |
Development of an alkali- free bath for the electrodeposition of Co-W-P thin films
남궁윤미, 이혜민, 김창구
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
| 8 |
Effect of potential and Current density on CoWP Electrodespotion
남궁윤미, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 7 |
Nano Mother Mold의 재사용을 위한 Imprinting용 Ni Nano Stamp 복제 공정개발
이정기, 조시형, 이정환, 김동진, 임현우, 박진구
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
| 6 |
A Comparative Study on Atomic Layer Etching of Chlorinated-Silicon Surfaces in Argon and Helium Plasmas
정희석, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
| 5 |
Cu CMP에서 Large sized particles이 연마속도와 표면결함에 미치는 영향|Effects of Large Sized Particles on Removal Rate and Surface Defect during Cu CMP
송재훈, 엄대홍, 홍의관, 박진구
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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저유전체 SiCFO 박막의 PECVD 제조 및 특성|Properties of Low-k SiCFO Films Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
김태희, 한윤봉|Tae-Hee Kim, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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NF3/Ar ICP를 이용한 SiO2/PR의 선택적 식각|Selective Dry Etching of SiO2 over Photo-resist using NF3/Ar Inductively Coupled Plasma
박형조, 한윤봉|Hyung Jo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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자외선 경화형 Poly(styrene-co-itaconic acid)의 합성과 미세패턴형성|Synthesis and Micro-patterning of UV curable Poly(styrene-co-itaconic acid)
김준영, 안광덕, 김태호|Jun-Young Kim, Kwang-Duk Ahn, Tae-Ho Kim
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
