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반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) TEMAHf(Tetrakis-ethylmethylaminohafnium)의 진공에서의 열물성 및 박막특성평가
안지혁, 김하영, 심섭, 강고루, 안종기, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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Stress Immunity to Vth Shift of IGZO TFT Via Plasma Passivation
임동환, 한훈희, 최창환
한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Enhanced Nucleation of High-k Dielectric Films using Atomic Layer Deposition on Graphene
Soo Bin Kim, Kang Min Lee, Hyeok Jae Lee, Sang Woon Lee
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Comparative Study on the Electrical Characteristics between Gate-First and Gate-Last Like Processed MOS Devices
Hoon Hee Han, Donghwan Lim, Yu-Rim Jeon, Jae Ho Lee, Changhwan Choi
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Al2O3/HfO2 Moisture Barrier films on Polymer grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
김래호, 장진혁, 박선욱, 정용진, 백용화, 박찬언
한국고분자학회 2016년 봄 학술대회 |
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Effect of Al2O3 encapsulation on MoS2 and MoSe2 thin-film transistors
김성열, 이현아, 최웅
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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용액 공정을 이용한 TFT 용 High-k 절연층 제작
한현규, 강태훈, 하철호, 박도휘, 주명양, 전호영, 류시옥
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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용액공정을 이용한 TFT 용 High-k 산화알루미늄 절연층 제작
한현규, 강태훈, 박도휘, 하철호, 전호영, 주명양, 류시옥
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
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Low Temperature HfO2 Thin Film Encapsulation for Organic Light-Emitting Diodes Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
박찬언, 정용진, 백용화, 박선욱, 장진혁, 김래호
한국고분자학회 2015년 가을 학술대회 |
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Thin film nanostructure of fluorinated block copolymers and their nanocomposites
안준협, 김승현, 최수연, 박태승, 이진균
한국고분자학회 2015년 봄 학술대회 |
