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Study on Ar plasma, O2 plasma and O2 thermal treatment on titanium surface for biomedical applications 맹선정, 송제범, 강고루, 정낙관, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2017년 가을 학술대회 |
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Preparation & catalytic activity of palladium decorated activated carbon for the reduction of hexavalent chromium 김지당, 최현철 한국공업화학회 2017년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposited Gate Spacer for New Memory Devices 이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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9Remote plasma ALD of Silicon nitride at low temperature for gate spacer 김만석, 장우출, 김현정, 이재민, 이건영, 신창희, 권영균, 임희우, 전형탁 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Characteristics of Si:ZrO2 deposited by ALD using CP-Zr 이건영, 장우출, 김현정, 임희우, 전형탁 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Characteristics of silicon oxy-carbide deposited by RPALD using OMCTS 이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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The Chracteristics of SiO2 Thin Film Deposited by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using BTBAS precursor Hyeongtag Jeon, Honggi Kim 한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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Crystallinity and energy band structure of atomic layer deposited ZrO2 films using Cp-Zr precursor Hyoseok Song, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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플라즈마 표면처리시 산소 분율의 변화가 기판과 코팅층 계면의 부착 특성에 미치는 영향 김동용, 이뢰, 박홍석, 배광진, 김종구, 조영래 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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Synthesis of SiOxCy thin film with Dielectric Barrier Discharge Plsma 오승천, 신중욱, 류재홍 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |