| 번호 | 제목 |
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| 5 |
3D Charge-up simulation coupled with realistic plasma surface reaction model in plasma etch process 유혜성, 육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성, 임연호 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
| 4 |
Charge-up simulation coupled with unified semi-global surface model for UHARC plasma etching in semiconductor fabrication 임연호, 최광성, 유동훈, 조덕균, 육영근, 장원석, 유혜성 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
| 3 |
Low cost and highly reliable fabrication route of chemical and biological nanowire sensor 유찬석, 김진태, 정희춘, 안의진, 유혜성, 이수한, 최대근, 임연호 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 2 |
Low cost and highly reliable fabrication process of nanodevice for bioapplications 정희춘, 김진태, 유찬석, 안의진, 유혜성, 이수한, 최대근, 임연호 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 1 |
Multiscale simulation of plasma etching process from molecular interactions to feature profile 육영근, 유혜성, 조덕균, 장원석, 유동훈, 최광성, 임연호 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
