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기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각
김재권, 주영우, 박연현, 조관식, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas.
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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N2O/N2 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 건식 식각(Dry Etching of Polycarbonate in N2O/N2 Plasma)
주영우, 이제원, 김재권, 박연현, 강상구, 백인규, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Effects of Sputtering Parameters on The Luminescent Properties of ZnO:Er Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering
송현돈, 김영진
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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성장온도에 따른 Si 박막전극의 충방전 특성
신원철, 이봉기, 조규봉, 김기원, 조권구, 안효준
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Sputtering 조건에 따른 Sn02 박막 가스센서의 전기적 성질에 관한 연구.|The study on electrical properties of SnO2 thin film gas sensor with various sputtering condition
이진혁, 맹기호, 이명호, 최종운, 강계명
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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ZnO 박막의 구조 및 광 특성에 미치는 스퍼터링 산소분압 및 플라즈마 세기효과|Effects of sputtering oxygen partial pressures and power on structural and optical properties ZnO films on SiO2/Si (001) substrates
한석규, 최준호, 심재호, 조형균, 김효진, 홍순구
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
