화학공학소재연구정보센터
번호 제목
46 Influence of H2/NH3 reactive gas ratio on CVD Co layer for Cu interconnect
박재형, 박종완, 문대용, 윤돈규
한국재료학회 2011년 가을 학술대회
45 Investigation of vanadium-based thin interlayer for Cu diffusion barrier
한동석, 박종완, 문대용, 박재형, 문연건, 김웅선, 신새영
한국재료학회 2011년 봄 학술대회
44 Effects of nitrogen reactive gas on PEALD TaNx diffusion barrier for Cu interconnect
박재형, 문대용, 한동석, 신새영, 박종완
한국재료학회 2011년 봄 학술대회
43 Hf 도핑을 통한 산화주석 기반의 박막트랜지스터의 특성 향상
김웅선, 문연건, 김경택, 신새영, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
42 Self-forming barrier process using PEALD Cu-Mn alloy for advanced Cu interconnect
문대용, 한동석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
41 Improvement of water barrier property  of Al2O3/TiO2 multi-layer deposited by plasma enhanced atomic layer deposition on PES substrate
권태석, 문연건, 김웅선, 문대용, 김경택, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
40 O2 plasma 처리로 인하여 계면의 특성이 개선된 ZnO 박막 트랜지스터의 전기적 특성 연구
김경택, 문연건, 김웅선, 신새영, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
39 Investigation of MnSixOy self-formed diffusion barrier using  RF-PEALD (Plasma enhanced atomic layer deposition) of Cu-Mn alloy film.
한동석, 문대용, 김웅선, 권태석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
38 Cycle performances of enhanced Si based negative film electrodes coupled with LiCoO2 for lithium ion batteries
황창묵, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
37 Optical properties of Cr3+ doped oxides: Different behavior of alexandrite and ruby
안용길, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회