46 |
Influence of H2/NH3 reactive gas ratio on CVD Co layer for Cu interconnect 박재형, 박종완, 문대용, 윤돈규 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
45 |
Investigation of vanadium-based thin interlayer for Cu diffusion barrier 한동석, 박종완, 문대용, 박재형, 문연건, 김웅선, 신새영 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
44 |
Effects of nitrogen reactive gas on PEALD TaNx diffusion barrier for Cu interconnect 박재형, 문대용, 한동석, 신새영, 박종완 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
43 |
Hf 도핑을 통한 산화주석 기반의 박막트랜지스터의 특성 향상 김웅선, 문연건, 김경택, 신새영, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
42 |
Self-forming barrier process using PEALD Cu-Mn alloy for advanced Cu interconnect 문대용, 한동석, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
41 |
Improvement of water barrier property of Al2O3/TiO2 multi-layer deposited by plasma enhanced atomic layer deposition on PES substrate 권태석, 문연건, 김웅선, 문대용, 김경택, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
40 |
O2 plasma 처리로 인하여 계면의 특성이 개선된 ZnO 박막 트랜지스터의 전기적 특성 연구 김경택, 문연건, 김웅선, 신새영, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
39 |
Investigation of MnSixOy self-formed diffusion barrier using RF-PEALD (Plasma enhanced atomic layer deposition) of Cu-Mn alloy film. 한동석, 문대용, 김웅선, 권태석, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
38 |
Cycle performances of enhanced Si based negative film electrodes coupled with LiCoO2 for lithium ion batteries 황창묵, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
37 |
Optical properties of Cr3+ doped oxides: Different behavior of alexandrite and ruby 안용길, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |