화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 폴리카보실란 전구체를 이용한 SiC세라믹 제조|The Processing of SiC Ceramics using Polycarbosilane Precusor
김진구, 이명천|Jin-Goo Kim, Myung-Cheon Lee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회
1 Hexafluoroacetylacetonate Copper(I) Allyltrimethylsilane을 이용한 초고집적 회로용 구리 박막의 유기금속 화학증착|Chemical Vapor Deposition of Copper from Hexafluoroacetylacetonate Copper(I) Allyltrimethylsilane
손종훈, 박만영, 이시우|Jong-Hoon Son, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회