| 108 |
3D Feature Profile Simulation of Cyclic Fluorocarbon Atomic Layer Etching Process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
| 107 |
3D Device Simulation for Chemical and Biological Nanowire Sensor
조윤성, 김진태, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
| 106 |
Molecular Dynamic Simulation for Contact Hole Etching Process under Fluorocarbon plasma
육영근, 유혜성, 최광성, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
| 105 |
3D simulation of electrolyte-gated nanowire field effect transistor for chemical and biological sensor applications
안의진, 김진태, 조윤성, 임연호
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
| 104 |
Simulation of the kinetic models of plasma deposition and etching in semiconductor fabrication
유혜성, 임연호, 장원석, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
| 103 |
Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model
육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
| 102 |
3D Charge-up simulation coupled with realistic plasma surface reaction model in plasma etch process
유혜성, 육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성, 임연호
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
| 101 |
Cost effective and mass-producible platform to fabricate chemical and biological nanowire sensors
안의진, 김진태, 유찬석, 정희춘, 조윤성, 임연호
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
| 100 |
Charge-up simulation coupled with unified semi-global surface model for UHARC plasma etching in semiconductor fabrication
임연호, 최광성, 유동훈, 조덕균, 육영근, 장원석, 유혜성
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
| 99 |
Nano-imprinted nanowire device coupled with plasma process for chemical and biological sensors
임연호, 최대근, 이수한, 양영석, 정종혁, 안의진, 정희춘, 김진태, 유찬석
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
