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RF 마이크로플라즈마 토치를 이용한 다이아몬드상 카본 합성
고현창, 송형근, 이화웅, 최재욱, 여영구
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Analysis of Reaction Mechanism as a function of H2+N2 Plasma Composition by hafnium nitride thin films
정 훈, 김연홍, 김도형
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 16 |
Spray Pyrolytic Deposition of FeNiOx Thin Film from Aqueous Nickel Acetate Solution
김우영, 주오심, 이현경, 정광덕
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Growth Condition and Fabrication of Device for AlGaN/GaN Hetero-strucure by MOCVD
Jaehong Choi, Hyunkyu Park, Jihye Kim, Jinwoo Jung, Dongjin Byun
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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FeNiOx THIN FILM PREPARATION USING SPRAY PYROLYSIS OF AQUEOUS NICKEL ACETATE SOLUTION
김우영, 이현경, 정광덕, 주오심
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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Remote Plasma ALD 법을 사용한 Cobalt 및 Cobalt Silicide 막의 특성에 관한 연구|Study on characteristics of Cobalt and Cobalt-silicide film using metalorganic precursor by Remote Plasma ALD method
김근준, 전형탁, 이근우, 한세진, 정우호
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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할로겐화합물의 초임계수 산화반응에 의한 금속의 표면 부식현상 연구
손상하, 김종화, 이현철, 이창하
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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유도 결합 플라즈마 반응성 이온식각을 이용한 NbOx nanodot의 식각 메카니즘 연구
박익현, 이장우, 정지원
한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |
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대기압 배리어 방전을 이용한 Cu 산화물의 환원|Reduction of copper oxide using atmospheric pressure dielectric barrier discharge
이수빈, 김윤기, 심연근
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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The Effect of NH3 Plasma Treatment on Low Dielectric Organosilicate Thin Film
김수한, 한준희, 차국헌
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
