화학공학소재연구정보센터
번호 제목
81 Plasma enhanced atomic layer deposition of aluminium oxide passivation layers
김태섭, 고명균, 김웅선, 문대용, 강병우, 박종완
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
80 Nonvolatile Memories(NFGM) Fabricated Through Atomic Layer Deposition
LEE Jun-Young, HWANG Jin-Ha, LEE Byung Kuk, CHO Wontae, LEE Sun Suk, CHUNG Taek-Mo, KIM Chang Gyoun, AN Ki-Seok
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
79 Electrical and Structural Properties of ZnO Thin Films Prepared by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD)
김진환, 김상훈, 김정현, 한윤봉
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
78 Photocatalytic characterization of the TiO2 fabricated by atomic layer deposition using TDEAT and H2O2
석경석, 임경택, 김연홍, 정 훈, 김도형
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
77 The preferred (200) orientation tetragonal phase of HfO2-Al2O3 thin films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
문형석, 주대권, 박판귀, 강상원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
76 Atomic layer deposition of TiO2 thin films using NH3 gas as a non-oxidizing reactant gas.
권세훈, 김성욱, 강상원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
75 Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in Al2O3-HfO2 Thin Films
정회성, 김지혜, 강상원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
74 Thermal Stability of Ruthenium and Iridium Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition
김성욱, 권세훈, 강상원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
73 Metal Thin film Prepared by Atomic Layer Deposition for Contact Application of Nanoscale Device
방성환, 이한보람, 김형준
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
72 In-situ diagnosis of tantalum precursors using Fourier transform infrared (FT-IR) spectroscopy
Sukhoon Kim, Moonkyun Song, Shi-Woo Rhee
한국재료학회 2007년 가을 학술대회