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Plasma enhanced atomic layer deposition of aluminium oxide passivation layers 김태섭, 고명균, 김웅선, 문대용, 강병우, 박종완 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Nonvolatile Memories(NFGM) Fabricated Through Atomic Layer Deposition LEE Jun-Young, HWANG Jin-Ha, LEE Byung Kuk, CHO Wontae, LEE Sun Suk, CHUNG Taek-Mo, KIM Chang Gyoun, AN Ki-Seok 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Electrical and Structural Properties of ZnO Thin Films Prepared by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) 김진환, 김상훈, 김정현, 한윤봉 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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Photocatalytic characterization of the TiO2 fabricated by atomic layer deposition using TDEAT and H2O2 석경석, 임경택, 김연홍, 정 훈, 김도형 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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The preferred (200) orientation tetragonal phase of HfO2-Al2O3 thin films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 문형석, 주대권, 박판귀, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Atomic layer deposition of TiO2 thin films using NH3 gas as a non-oxidizing reactant gas. 권세훈, 김성욱, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in Al2O3-HfO2 Thin Films 정회성, 김지혜, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Thermal Stability of Ruthenium and Iridium Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition 김성욱, 권세훈, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Metal Thin film Prepared by Atomic Layer Deposition for Contact Application of Nanoscale Device 방성환, 이한보람, 김형준 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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In-situ diagnosis of tantalum precursors using Fourier transform infrared (FT-IR) spectroscopy Sukhoon Kim, Moonkyun Song, Shi-Woo Rhee 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |