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Effect of plasma treatment to surface of the titanium oxide deposited by plasma enhanced atomic layer deposition
김웅선, 고명균, 김태섭, 박종완
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Characteristics of SiO2 /Si3N4/SiO2 multilayer Grown by Atomic Layer Deposition for Flash memory applications
박광철, 정광수, 윤원덕, 박종욱, 나사균, 이원준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Al Atom Migration in LaAlO3 Thin Film during Thermal Treatment
엄다일, 황철성, 김형준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 58 |
Titanium oxide thin films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for encapsulation of organic devices
김태섭, 김웅선, 고명균, 박종완
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 57 |
Influence of TiO2 Thin film on dye-sensitized nanocrystalline solar cells
김연홍, 황경준, 김성수, 김도형
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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산소 및 수분에 의한 유기박막트랜지스터의 성능저하 메카니즘 분석 및 ALD를 이용한 AlOx 보호막의 passivation 효과
전하영, 신권우, 양상윤, 박찬언
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
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CVD/ALD process monitoring system (2)(The evaluation of a precursor using FT-IR spectroscopy, thermal analysis, and the deposition chamber)
강상우, 윤주영, 성대진, 신용현, 이시우, 송문균
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Analysis of Reaction Mechanism as a function of H2+N2 Plasma Composition by hafnium nitride thin films
정 훈, 김연홍, 김도형
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Preparation of Sb thin film by Remote Plasma Assisted atomic layer deposition using Tri-isopropyl-antimony
정 훈, 김연홍, 로자나, 이준기, 김도형
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Preparation of Te thin film by H2+Ar Plasma Assisted atomic layer deposition using di-isopropyl-tellurium
정 훈, 김연홍, 로자나, 이준기, 김도형
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
