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Effects of Amorphous-silicon and Poly-silicon films on Within-Wafer Non-Uniformity (WIWNU) Improvement in Chemical Mechanical Polishing.
Yoon-Kweon Choi, Jae-Il Choi, Kyung-Woong PARK, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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RCA 반도체 습식 세정 공정 중 오존을 이용한 SC1 세정을 위한 최적화 연구|The Study of Optimized Process Condition using Ozone for SC1 Solution in RCA Wet Cleaning Process
이승호, 이상호, 김규채, 권태영, 박진구, 배소익, 김인정, 이건호
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Preparation and Pore Control of Multi-Porous Organic-Inorganic Hybrid Films for Low Dielectric Materials Via Supercritical Carbon Dioxide
안준현, 김중현
한국고분자학회 2004년 가을 학술대회 |
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Synthesis of Colorless and Transparent Photosensitive Polyimide
최성묵, 김경준, 권수한, 최길영, 이재흥, 이미혜
한국고분자학회 2004년 가을 학술대회 |
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FeRAM 소자에서 Al 배선 특성에 미치는 공정 영향 평가|Effects of Process Conditions on Al Metallization Properties in FeRAM Device
조경원, 권순용, 염승진, 김남경, 최은석, 선호정, 홍태환, 이영근, 최시경
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Process monitoring based on Gaussian mixture models from incomplete data
김동순, 이인범
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Angular dependences of etch rates of Si and fluorocarbon polymer in SF6, C4F8, and O2 plasmas for advanced Bosch process
민재호, 이겨레, 이진관, 문상흡
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Status of SAXS Beamlines at Pohang Accelerator Laboratory and Their Applications for Characterizing Structures of Polymers
이문호, 이병두, 윤진환, 진경식, 허규용, 오원태, 황용택, 박영희, 김종성, 김제한, 김광우
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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Aromatic Polycarbonate Nano Particles via High Pressure Process Technology
이준영, 김경일, 김중현
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
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유동화 촉매 분해 공정의 다변수제어 및 최적화|Multivariable Control and Optimization of a Fluidized Catalytic Cracking Process
한인수,정창복,한종훈|In-Su Han,Chang-Bock Chung,Chonghun Han
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
