| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
원자층 증착 공정의 증착 온도에 따른 Hf0.5Zr0.5O2 박막의 분극 반전 특성에 대한 영향 이동현, 박민혁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 1 |
Mo 하부전극을 통한 Wake-up 현상 억제 Hf0.5Zr0.5O2 캐패시터의 제작 및 특성 평가 유근택, 김세현, 박주용, 이동현, 박민혁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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| 2 |
원자층 증착 공정의 증착 온도에 따른 Hf0.5Zr0.5O2 박막의 분극 반전 특성에 대한 영향 이동현, 박민혁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Mo 하부전극을 통한 Wake-up 현상 억제 Hf0.5Zr0.5O2 캐패시터의 제작 및 특성 평가 유근택, 김세현, 박주용, 이동현, 박민혁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |