| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Atomic layer deposition of Ru thin films using novel Ru(Ⅱ) precursor with enhanced reactivity 오승훈, 여승민, 박현빈, 박태주, 정택모, 엄태용 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Atomic layer deposition of Ru thin films using novel Ru(Ⅱ) precursor with enhanced reactivity 오승훈, 여승민, 박현빈, 박태주, 정택모, 엄태용 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |