| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
DFT-based kinetic Monte Carlo study of TiN film growth in atomic layer deposition 안형민, 김상태, 오상민, 한승우 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
DFT-based kinetic Monte Carlo study of TiN film growth in atomic layer deposition 안형민, 김상태, 오상민, 한승우 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |