번호 | 제목 |
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92 |
Evaluation of Thermal Stability of ALD Precursors for Solid Electrolyte Coating 김하영, 맹선정, 박지원, 임재욱, 윤주영 한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
91 |
화학증착소재(precursor) 증기압 측정 및 불확도 평가 김하영, 최은미, 맹선정, 이수연, 박지원, 윤주영 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
90 |
화학증착소재(precursor)의 열분해에 따른 특성 연구 이수연, 최은미, 맹선정, 김하영, 박지원, 허영우, 윤주영 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
89 |
반도체 증착소재 복합물성 측정기술 및 장비 개발 최은미, 김하영, 안지혁, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
88 |
화학증착소재의 실시간 측정 허훈, 유은성, 전재성, 윤주영, 박춘근 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
87 |
반도체/디스플레이 장비 공정부품용 코팅소재의 진단 및 신뢰성평가 기술 김민중, 이승수, 소종호, 김진태, 정낙관, 최은미, 윤주영 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
86 |
고온의 진공상태에서 열화한 반도체 소재 TTIP(Tetraisopropyl orthotitanate) 전구체의 열물성 및 ALD를 사용한 박막의 특성평가 안지혁, 신재수, 안종기, 강고루, 심섭, 김하영, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
85 |
반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) TEMAHf(Tetrakis-ethylmethylaminohafnium)의 진공에서의 열물성 및 박막특성평가 안지혁, 김하영, 심섭, 강고루, 안종기, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
84 |
반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium의 분해와 소자 특성 변화에 관한 연구 최은미, 안지혁, 강고루, 김하영, 정낙관, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
83 |
진공환경에서 OLED 소자에 사용되는 증착원료 소재의 장기간 열안정성 평가에 관한 연구 최은미, 김하영, 심섭, 정낙관, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |