| 번호 | 제목 |
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하이드로탈사이트(Hydrotalcite)를 이용한 포도당(Glucose)의 과당(Fructose) 이성질화 이겨레, 나정걸, 고창현, 이대성, 정수현 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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Angular distributions etch products from the bottom substrate in fluorocarbon plasmas 이진관, 이겨레, 민재호, 문상흡 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Angular dependences of etch rates of Si and fluorocarbon polymer in SF6, C4F8, and O2 plasmas for advanced Bosch process 민재호, 이겨레, 이진관, 문상흡 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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CHF3 플라즈마에서 다공성 저유전율 물질 식각의 각도 의존성|Angular Dependence of Porous Low-k Material Etch Rate in a CHF3 Plasma 황성욱,이겨레,민재호,문상흡|Sung-Wook Hwang,Gyeo-Re Lee,Jae-Ho Min,Sang Heup Moon 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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불화탄소 플라즈마 식각시 바닥면으로부터 방출된 입자들이 벽면특성에 미치는 영향|Effects of bottom-emitted particles on the sidewall property in fluorocarbon plasma etching 민재호,황성욱,이겨레,문상흡|Jae-Ho Min,Sung-Wook Hwang,Gyeo-Re Lee,Sang Heup Moon 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
