| 번호 | 제목 |
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Thermal ALD와 Plasma Enhanced ALD기법을 사용해 제작된 HfO2 박막의 전기적 특성 및 Si/HfO2 계면 분석 안영환, 이왕곤, 김지웅, 서형탁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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원자층 증착법(ALD)을 이용한 Vanadium oxide 박막 제작 및 전기적 특성 분석 이왕곤, 서형탁, 최효빈, 신희철, 안영환, 김지웅 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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원자층 증착 공정으로 형성된 SnO2 박막에 대한 Al2O3 슈퍼사이클 효과 김지웅, 이왕곤, 안영환, 김지수, 서형탁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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E-beam을 이용한 Vanadium oxide film의 수직방향 MIT 거동 및 Si/VOx 계면특성 분석 최효빈, 이왕곤, 강현우, 임재성, 신희철, 서형탁 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
