화학공학소재연구정보센터
번호 제목
39 Etching of SiO2 in an inductively coupled plasma using hexafluoroisopropanol
이유종, 김창구
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
38 Etching of SiO2 in inductively coupled plasmas using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol
선은재, 김창구
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
37 Angular dependence of etch rates in fluoro-ether/O2/Ar plasmas
유상현, 김창구
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
36 Angular dependence of SiO2 etch rates in hydrofluoroalcohol-containing plasmas
선은재, 김창구
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
35 Effect of mixing ratio in SiO2 etching using hydrofluoroether plasmas
선은재, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
34 Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
33 3차원 복합구조체의 도입을 통한 BiVO4 박막 광전극의 효율향상
전준호, 주수철, 최형민, 이헌
한국재료학회 2019년 봄 학술대회
32 Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
31 Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
30 근 자외선 LED구조에서의 Al-기반 나노링구조를 이용한 국부적 표면플라즈몬 효과
이병룡, 손경락, 김경헌, 이태호, 김명주, 박태훈, 강대윤, 최신환, 김찬영, 김태근
한국재료학회 2016년 봄 학술대회