39 |
Etching of SiO2 in an inductively coupled plasma using hexafluoroisopropanol 이유종, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
38 |
Etching of SiO2 in inductively coupled plasmas using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol 선은재, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
37 |
Angular dependence of etch rates in fluoro-ether/O2/Ar plasmas 유상현, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
36 |
Angular dependence of SiO2 etch rates in hydrofluoroalcohol-containing plasmas 선은재, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
35 |
Effect of mixing ratio in SiO2 etching using hydrofluoroether plasmas 선은재, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
34 |
Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
33 |
3차원 복합구조체의 도입을 통한 BiVO4 박막 광전극의 효율향상 전준호, 주수철, 최형민, 이헌 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
32 |
Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
31 |
Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
30 |
근 자외선 LED구조에서의 Al-기반 나노링구조를 이용한 국부적 표면플라즈몬 효과 이병룡, 손경락, 김경헌, 이태호, 김명주, 박태훈, 강대윤, 최신환, 김찬영, 김태근 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |