| 번호 | 제목 |
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| 4 |
Effect of Particle Agglomeration by Air Bubble during Tungsten (w) CMP Process 김동규, 정연아, 한광민, 한소영, 진승완, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤, 박진구 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 3 |
INVESTIGATION OF THE FORMATION OF WOX DURING W CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION Palwasha Jalalzai, 박진구, Maneesh Kumar Poddar, 류헌열, 정연아, 김태곤 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
| 2 |
A Novel Method to Evaluate the Catalyst Effect on the Performance of W CMP Process 한소영, 정연아, 류헌열, Maneesh Kumar Poddar, Nagendra Prasad Yerriboina, 김재현, 박종대, 이민건, 박창용, 한성준, 김명준, 박진구 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
| 1 |
Co CMP를 위한 Co-BTA Complex Layer 특성 연구 이찬희, 류헌열, 황준길, 정연아, 조휘원, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
