| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
Fabrication and testing of thin film bulk acoustic wave resonator using deep Si etch process 안영배, 문정현, 이종호, 이재빈, 정학준, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 1 |
Deep RIE 공정을 이용한 차세대 이동 통신용 멤브레인 구조의 FBAR 제작 안영배, 문정현, 이재빈, 김형준 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Fabrication and testing of thin film bulk acoustic wave resonator using deep Si etch process 안영배, 문정현, 이종호, 이재빈, 정학준, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Deep RIE 공정을 이용한 차세대 이동 통신용 멤브레인 구조의 FBAR 제작 안영배, 문정현, 이재빈, 김형준 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |