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Development of Dry Etching for the InGaZnO Film using CH4-Based Gas Chemistry with High Volatility of Etch By-Product 조현철, 정재경 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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고온 AlN heater의 microstructure 특성 기반 thermal simulation 정재성, 안영기 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Fabrication of Large Area Nano-Photonic Structure by Using Nano-Imprinting process for High-Temperature Applications 박금환, 김종무, 주병권, 김영석 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
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Real-Time Endpoint Detection for SiO2 Film Plasma Etching Using Impedance Analysis with Modified Principal Component Analysis 장해규, 김대경, 채희엽 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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Sidewall-etched GaN nanorods를 이용한 GaN-based light-emitting diodes (LEDs)의 빛 추출 효율 향상 김병재, 정영훈, 김지현 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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Cu mask를 이용한 높은 선택도의 아크릴 건식식각 연구 박주홍, 이제원, 김재권, 이성현 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발 강형범, 조시형, 서정호, 조민수, 임현우, 박진구 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Imprinting을 이용한 DNA array chip용 Nano well 형성방법 이정환, 조시형, 김동진, 임현우, 박진구 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Multi-directional plasma etching using a Faraday Cage 이승행, 민재호, 이진관, 장일용, 문상흡 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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ArF resist와 EUV resist의 식각특성 비교 권봉수, 이학주, 김선일, 이내응, 이성권 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |