화학공학소재연구정보센터
번호 제목
27 Development of Dry Etching for the InGaZnO Film using CH4-Based Gas Chemistry with High Volatility of Etch By-Product
조현철, 정재경
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
26 고온 AlN heater의 microstructure 특성 기반 thermal simulation
정재성, 안영기
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
25 Fabrication of Large Area Nano-Photonic Structure by Using Nano-Imprinting process for High-Temperature Applications
박금환, 김종무, 주병권, 김영석
한국공업화학회 2016년 가을 학술대회
24 Real-Time Endpoint Detection for SiO2 Film Plasma Etching Using Impedance Analysis with Modified Principal Component Analysis
장해규, 김대경, 채희엽
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
23 Sidewall-etched GaN nanorods를 이용한 GaN-based light-emitting diodes (LEDs)의 빛 추출 효율 향상
김병재, 정영훈, 김지현
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
22 Cu mask를 이용한 높은 선택도의 아크릴 건식식각 연구
박주홍, 이제원, 김재권, 이성현
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
21 Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발
강형범, 조시형, 서정호, 조민수, 임현우, 박진구
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
20 Imprinting을 이용한 DNA array chip용 Nano well 형성방법
이정환, 조시형, 김동진, 임현우, 박진구
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
19 Multi-directional plasma etching using a Faraday Cage
이승행, 민재호, 이진관, 장일용, 문상흡
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
18 ArF resist와 EUV resist의 식각특성 비교
권봉수, 이학주, 김선일, 이내응, 이성권
한국재료학회 2007년 가을 학술대회