| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 Silicon nitride (SiNx) 박막의 PEALD 공정에 관한 연구 변지영, 지유진, 김기현, 김기석, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 Silicon nitride (SiNx) 박막의 PEALD 공정에 관한 연구 변지영, 지유진, 김기현, 김기석, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |