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Halogen-free Atomic Layer Etching of Metal Oxides 이정빈, 노재홍, 박태주, 김우희 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Verification of atomic-scale simulations with experimental data in plasma oxide etching process 박재형, 장원석, 유혜성, 육영근, 임연호 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
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Bridging technology between molecular dynamic simulation and density function theory for plasma etching process 박재형, 육영근, 유혜성, 오민주, 장원석, 배성민, 임연호 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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Quantitative analysis of H2 isotope sorption in Metal-Organic Framework by cryogenic Thermal Desorption spectroscopy (TDS) 정민지, 박재우, 조세연, 오현철 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Additive gas effects in fluorocarbon-based plasma etching chemistry 박재형, 장원석, 유동훈, 육영근, 유혜성, 임연호 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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The effect of HfO2 Films using Atomic Layer Deposition in accordance with thermal decomposition temperature of Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium [TEMAHf] 오남근, 안종기, 강고루, 김소연, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
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QMS 신호의 FFT와 Histogram 분석을 이용한 Al2O3 ALD 공정진단 강고루, 윤주영, 안종기, 오남근, 남민우 한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
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최적화된 이온 에너지를 통한 그래핀 표면 클리닝 김기석, 염근영 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Real time analysis of hydrogen isotopes mixture gas with combination of GC-QMS 오윤희, 윤세훈, 장민호, 강현구, 정동유 한국공업화학회 2013년 봄 학술대회 |
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회분을 제거한 저등급 석탄의 촉매가스화 김재권, 유지호 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |