화학공학소재연구정보센터
번호 제목
18 Halogen-free Atomic Layer Etching of Metal Oxides
이정빈, 노재홍, 박태주, 김우희
한국재료학회 2021년 가을 학술대회
17 Verification of atomic-scale simulations with experimental data in plasma oxide etching process
박재형, 장원석, 유혜성, 육영근, 임연호
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
16 Bridging technology between molecular dynamic simulation and density function theory for plasma etching process
박재형, 육영근, 유혜성, 오민주, 장원석, 배성민, 임연호
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회
15 Quantitative analysis of H2 isotope sorption in Metal-Organic Framework by cryogenic Thermal Desorption spectroscopy (TDS)
정민지, 박재우, 조세연, 오현철
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
14 Additive gas effects in fluorocarbon-based plasma etching chemistry
박재형, 장원석, 유동훈, 육영근, 유혜성, 임연호
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
13 The effect of HfO2 Films using Atomic Layer Deposition in accordance with thermal decomposition temperature of Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium [TEMAHf]
오남근, 안종기, 강고루, 김소연, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
12 QMS 신호의 FFT와 Histogram 분석을 이용한 Al2O3 ALD 공정진단
강고루, 윤주영, 안종기, 오남근, 남민우
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
11 최적화된 이온 에너지를 통한 그래핀 표면 클리닝
김기석, 염근영
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
10 Real time analysis of hydrogen isotopes mixture gas with combination of GC-QMS
오윤희, 윤세훈, 장민호, 강현구, 정동유
한국공업화학회 2013년 봄 학술대회
9 회분을 제거한 저등급 석탄의 촉매가스화
김재권, 유지호
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회