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Development of SiOF based (assisted) high moisture barrier thin film by R2R MW-PECVD
엄지호, 조태연, 조성근
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
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Effect of Substrate Bias on SiNx PECVD Process
안세진, 조성민
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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상온 증착이 가능한 유,무기 하이브리드 유연 박막 트랜지스터
장성철, 김현석, 김재현, 이경진
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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The impact of hydrogen peroxide and stirring temperature of solutino processed LaZrOx gate dielectric on low voltage operated IGO thin film transistors.
이수언, 이시형, 정재경
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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SiNx deposition using CSN-2 and H2 and N2 plasmas by remote plasma atomic layer deposition
Suhyeon Park, Chanwon Jung, Byunguk Kim, Jungwoo Kim, Yurim Kwon, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Characterization of CZTSSe thin film on stainless steel flexible substrate
안광석, 김세윤, 김삼미, 손대호, 김승현, 김대환, 양기정, 강진규
한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
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Stainless steel 유연기판 CZTSSe 박막 태양전지 특성 분석
안광석, 김세윤, 김삼미, 손대호, 김승현, 김대환, 양기정, 강진규
한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
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Characteristics of SiNx thin films by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using DTDN2-H2 precursor
임경필, 전형탁, 김현준, 정찬원, 조해원
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 Silicon nitride (SiNx) 박막의 PEALD 공정에 관한 연구
변지영, 지유진, 김기현, 김기석, 염근영
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Simple a-IGZO TFT Fabrication using Advanced Imprint Lithography
채희남, 김성진, 김형태, 조성민
한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
