| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주) |
| 권호 | 23권 1호, p.260 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | Continuous Czochralski 공정에서의 원료 투입에 대한 예측 모델링을 통한 균일 실리콘 잉곳 생산 |
| 초록 | 현재 화석연료를 이용한 에너지의 생산은 날이 갈수록 그 문제를 더해가고 있다. 따라서 그 원천이 무제한적이며, 친환경적인 태양광 산업은 오늘날 발생 되는 문제에 대한 하나의 해결책이 될 수 있다, 태양광 산업에서는 현재 Czochralski 공정 중 일반 회분식 공정을 연속 공정화 하는 CCZ(Continuous CZochralski)을 이용하여 잉곳 생산의 속도와 수율을 향상 시켰지만, 공정 진행시 초기와 마지막의 실리콘 잉곳에서 melt의 불순물 농도가 일정치 않을 가능성이 많다. 이러한 가능성으로 인해 결정성장 과정에서 결정의 균일도가 불안정해 질수 있는 결과를 초래 할 수 있다. 이에 본 연구에서는 CCZ공정에서 균일성 있는 태양광용 단결정 실리콘 잉곳을 생산하기 위해 모델링을 통해 원료물질의 필요량을 예측하였다. 이러한 결과로 원료물질의 불순물 농도를 확인, 투입되어야 할 원료물질의 순도 및 양을 계산해 낼 수 있는 결과를 얻었다. 본 결과를 통해 태양광용 단결정 실리콘의 높은 생산성과 동시에 균질성 있는 결정을 생산 할 수 있을 것으로 예상된다. |
| 저자 | 채강호, 정재학, 정현준, 조민제, 조나영 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | 공정최적화 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
