| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 부산 벡스코(BEXCO)) |
| 권호 | 25권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 고순도 공업용수 성능평가 기술개발 |
| 초록 | 최근 일본의 수출 규제로 국내 주요 산업인 반도체 제조용 소재의 국산화 추진이 활발히 이루어지고 있다. 반도체 생산은 초미세 공정으로 미세한 불순물에도 민감하게 반응하여 고순도 공업용수의 사용이 필수적이다. 하지만 고순도 공업용수를 제조하기 위해 사용되는 주요 기술은 일본 및 해외 의존도가 높아 국산화가 시급하다. 극미량 단위의 고순도 공업용수 품질 특성상 주요 장비의 국산화를 위해 장비의 용출 특성의 평가와 주요설비의 내구성 평가가 개발단계에서부터 동시에 진행되어야 한다. 본 연구에서는 고순도 공업용수 제조를 위한 소재 및 장비의 유무기물 용출성능평가와 함께 공정 주요 설비의 내구성 평가방안을 도출하고자 하였으며, 이를 바탕으로 향후 개발되는 고순도 공업용수 공정 관련 장비 및 설계, 운영 국산화 기술 성능평가 및 인검증 체계를 구축하는데 이바지 할 수 있을 것으로 판단된다. |
| 저자 | 김봉철, 박찬규 |
| 소속 | 한국산업기술시험원 |
| 키워드 | 고순도 공업용수; 용출특성; 용수품질; 성능평가방법; 표준화 |
