| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (11/25 ~ 11/27, 부산 해운대그랜드호텔) |
| 권호 | 21권 2호 |
| 발표분야 | D. 구조 재료 |
| 제목 | YAS계 유리 용융침투를 통한 내플라즈마 Alumina 세라믹스 제조 및 특성 |
| 초록 | 최근 반도체 공정 환경이 가혹해짐에 따라 내 플라즈마성 세라믹스 소재를 요구하고 있다. 그러나 기존에 사용하는 기술은 고가의 소재를 이용하여 생산비용이 증가하거나, 코팅박리 및 입자탈락과 같은 공정상의 문제를 야기하는데, 이러한 문제를 해결하기 위해서는 세라믹스의 표면강화 연구가 지속적으로 진행되어야 한다. 특히, 세라믹스 표면강화 및 내 플라즈마성 발현을 위해서는 세라믹스 모재 표면으로의 YAS(Y2O3-Al2O3-SiO2)계 유리의 고온 용융 침투에 대한 연구가 필요하다. 본 연구는 고온 용융법을 이용하여 알루미나 모재로의 침투유리에 적합한 YAS계 Frit을 제조하고, 제조된 유리분말을 고온 용융침투를 통해 알루미나 세라믹스 표면을 강화하여 내플라즈마성을 향상시켜 가장 적합한 조성과 공정을 제시하고자 하였다. 실험은 Y2O3, Al2O3, SiO2 원료분말을 통해 YAS계 비정질 유리를 제조하고, 제조된 Frit을 고온에서 세라믹스 모재 표면에 침투시켜 내 플라즈마성 세라믹스를 최종 제작하였다. 제작된 세라믹스는 원료분말의 조성에 따라 내 플라즈마 테스트를 통해 최종 평가하여 고찰하였다. |
| 저자 | 이현권, 오현명, 박의근 |
| 소속 | 금오공과대 |
| 키워드 | YAS; Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>-SiO<SUB>2</SUB>; Plasma Resistanat |
