| 초록 |
백색안료, 광촉매, 고굴절 재료 등으로 드넓게 활용되는 티타니아(titania; titanium dioxide)는 졸겔법/hydrothermal/기상증착법 등 공정에서 염화 티타늄, 혹은 티타늄 알콕사이드 등의 티타늄 전구체를 분해하여 생산한다. 특히 MOCVD 등의 기상증착법으로 만들어지는 티타니아 나노필름은 초저유전 특성을 지니기에 다양한 전자 디바이스에 응용될 수 있다. 주로 유기 리간드를 티타늄에 배위되어 있는, 저온에서 증기압이 높은 티타늄 전구체가 MOCVD 공정에 사용하며, 염화 티타늄 혹은 티타늄 테트라이소프로폭사이드가 자주 사용된다. 허나 이러한 전구체는 수분 및 산소에 취약하거나, 공정 진행 중에 오염물이 발생하거나, 다른 금속 전구체와 혼용하여 사용하기에 상대적으로 증기압이 높고, 열분해 온도가 낮아 균일한 박막을 제조하기가 힘들다. 따라서 본 발표에서는 여러 리간드를 배위하여 새로운 티타늄 전구체를 합성하고 이 전구체의 화학적, 물리적 특성을 분석하였다. 그리고 이 티타늄 전구체를 MOCVD 공정에 활용하여 티타니아 나노필름을 제조하여 전자현미경을 통해 그 형태를 파악하였다. |
