| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | Photoluminescence of MgO-coated BaMgAl10O17O:Eu2+ phosphors using atomic layer deposition |
| 초록 | BaMgAl10O17O:Eu2+ (BAM)형광체는 디스플레이 소자제작공정에서 휘도 및 lifetime이 감소하는 열화현상이 발생한다. 이는 제조과정에서 Eu2+에 수분이 결정격자내로 침입하여 Eu3+로 산화되어 휘도에 영향을 주는 것으로 보고되고 있다. 본 연구에서는 BaMgAl10O17O:Eu2+ 형광체의 발광특성을 개선하기 위하여 원자층 증착법을 이용하여 형광체 표면에 MgO 막을 증착시키는 연구가 수행되었다. MgO는 현재 디스플레이 관련분야에서 높은 이차전자방출과 passivation 역할을 하는 보호층으로 주로 사용되고 있다. BaMgAl10O17O:Eu2+ 형광체 표면에 MgO를 증착시키기 위하여 precursor는 Mg(CpEt)2를 사용하였고 reactant gas로 H2O를 사용하였다. 형광체 표면에 증착된 MgO박막의 표면 특성을 FESEM으로 관찰하였고, 두께분석을 위해 TEM을 측정하였다. MgO 박막의 화학양론 조성을 분석하기 위하여 Raman을 이용하였고, PL을 통하여 발광특성 및 lifetime을 분석하였다. PL 측정결과 MgO를 증착 시켰을 때 초기휘도가 약 5%의 증가를 보였고 소자제작 시 열화가 발생하는 500℃의 온도에서 열처리를 하였을 때 코팅되지 않은 형광체에 비해 10%의 향상된 intensity를 나타내었다. |
| 저자 | 김희규, 김혁종, 강인구, 최병호 |
| 소속 | 금오공과대 |
| 키워드 | BAM; phosphor; PDP; MgO coating; ALD |
