| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (04/08 ~ 04/09, 대전컨벤션센터) |
| 권호 |
35권 1호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
A low operating voltage and transparent ZnO thin film transistor using solution process |
| 초록 |
투명 디스플레이는 차세대 디스플레이로 그 시장가치가 높다고 평가되고 있는 분야이다. 투명 디스플레이를 구동하기 위한 단위소자로 트랜지스터 역시 투명해야 하는데 이번 연구는 그런 맥락에서 ITO glass를 기판으로 한 투명 트랜지스터를 개발하고자 하였다. 트랜지스터 물질로는 전기적인 특성이 우수하다고 알려진 Zinc Oxide와 Zinc Oxide에 Indium과 Gallium을 도핑한 물질을 사용하였다. 제작 방법은 ITO glass 위에 gate dielectric으로 HfO2를 증착한 후 CYTOP을 이용해 산화물 반도체를 패턴한다. 산화물은 용액공정으로 코팅 후 열처리해 생성한다. 패턴된 산화물 반도체 위에 전극을 증착한 다음 트랜지스터 성능을 측정한 결과 0.05~0.1cm2/Vs 의 전하 이동도와 104 이상의 점멸비를 보였다. |
| 저자 |
안태규1, 양찬우1, 김세현1, 곽영진2, 박찬언1, 장재영1
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| 소속 |
1포항공과대, 2호서대 |
| 키워드 |
transparent transistor; zinc oxide; low operating voltage
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