| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2019년 가을 (10/30 ~ 11/01, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 23권 2호 |
| 발표분야 | 포스터_디스플레이 |
| 제목 | 반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium의 분해와 소자 특성 변화에 관한 연구 |
| 초록 | Zirconium dioxide (ZrO2)는 높은 밴드갭(~5.8 eV) 및 유전상수(~47)등의 우수한 특성으로 인해 high-permittivity (high-k)로 사용되고 있다. ZrO2 박막 증착을 위한 증착소재는 높은 성장속도와 열안정성, 우수한 전기적 특성을 만족 시키기 위해 alkylamido-cyclopentadienyl 리간드가 혼합된 구조를 가진다. 그러나, 증착공정 중 노출되는 열 에너지에 의해 리간드가 분해되어 박막 및 소자 특성 변화의 원인이 된다. 성공적인 ZrO2 박막 증착을 위해서는 증착소재가 기화되어 공정챔버에 도달 하기까지 노출되는 열에너지에 의한 분해와 물성 변화가 철저히 평가 되어야 한다. 본연구에서는 대표적인 증착소재인 Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium(CpZr(NMe2)3)의 열에너지에 장기간 노출 되었을 때 물성 변화와 박막 특성 변화에 대해 규명하고자 한다. 더하여, MOS 구조의 소자를 제작하여 분해에 의한 소자 특성 변화에 대해서 연구하고자 한다. |
| 저자 | 최은미, 안지혁, 강고루, 김하영, 정낙관, 김진태, 윤주영 |
| 소속 | 한국표준과학(연) |
| 키워드 | 증착소재; 장기간 열안정성; 유기금속 전구체; 소자 특성 변화 |
