| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2007년 봄 (04/19 ~ 04/20, 울산 롯데호텔) |
| 권호 |
13권 1호, p.682 |
| 발표분야 |
에너지/환경 |
| 제목 |
주석 산화물을 기초로 한 후막 반도체 가스센서의 연구 |
| 초록 |
화학 테러 가스 중 질식 작용제의 유사 물질로 사용되는 Dichloromethane(CH2Cl2)은 상온에서 액체 상태로 무색 투명하고, 달콤한 냄새가 난다.본 연구는 저 농도(0.5ppm)의 Dichloromethane 감지를 위해 SnO2계 반도체 가스센서를 제조 하였고, 감도와 회복성 측정을 위해 flow system 에서 실험 하였다. SnO2 센서소자는 350oC, 0.5ppm 조건에서 30% 정도의 감도를 나타내었으나 회복이 불가능 하였다. 이러한 결과를 바탕으로 M-2와 M-1에 첨가된 금속 산화물을 조합한 SnO2 센서소자 KNU-140을 개발하였다. SnO2 센서소자는 dichloromethane 측정에 있어 감도는 37% 이지만, 회복성에 있어서 완전한 회복성을 보여 주었다. SnO2 센서소자 M-1의 경우 가스센서의 회복성에 크게 영향을 주었고, 센서소자 M-2의 경우에는 가스센서의 감도에 영향을 주는 것으로 확인 할 수 있었다. |
| 저자 |
최호윤, 김재창, 이수출, 이수재, 이덕동, 허증수
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| 소속 |
경북대 |
| 키워드 |
SnO2; Dichloromethane
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
초록 보기 |
