| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트) |
| 권호 |
14권 1호 |
| 발표분야 |
구조재료 |
| 제목 |
재료의 마이크로 압축시험 |
| 초록 |
최근 나노기술이 과학기술계의 중요한 주제로 주목받으며 세계 각국에서는 전략적으로 기술개발연구를 수행하고 있다. 나노기술이 발달함에 따라 NEMS, MEMS나 박막소자, 등 나노/마이크로 크기를 기본으로 하는 소재의 사용이 늘어났으며 이들의 성능 및 신뢰성 확보를 위해서 여러 가지 물성이 평가되어야 한다. 이에 따라 나노/마이크로 소재의 기계적 특성 평가 방법에 대한 관심이 높아지고 몇 가지 방법이 제시되고 있으나 아직 뚜렷한 방법이 확립되지는 않은 상태이다. 본 연구에서는 소재의 나노/마이크로 기계적 특성을 평가할 수 있는 장치로 나노인덴테이션과 원자간력 현미경 기술을 이용하여 압자와 부대 장치를 설계 제작하였다. 이를 이용한 마이크로 압축 시험을 행하여 응력 인가시의 기계적 거동의 변화를 조사, 해석하고 주사전자현미경과 투과전자현미경 평가기술을 이용하여 미세구조 변화를 관찰하여, 소재에 대한 마이크로 기계적 특성평가 기술 개발을 시도하였다. |
| 저자 |
이수성1, 이홍림1, 김수남1, 조상봉1, 윤운하2, 윤존도1
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| 소속 |
1경남대, 2한국기계(연) |
| 키워드 |
소재; 나노/마이크로 기계적 특성; 마이크로 압축 시험; 기계적 거동
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