| 초록 |
본 연구에서는 실리콘계 고무의 점착력을 이용하여 글라스 기판을 상부에 흡착시키고 합착 공정 완료 후 탈착을 용이하게 하는 기판흡착 부품 개발을 목적으로, 내마모성, 내후성을 가지고 고진공 및 고온에서 낮은 탈기체도를 가진 실리콘계 점착척 개발을 연구하였다. 실리콘계 고무조성물을 FT-IR, TGA, EDX를 사용하여 성분분석을 하였다. 실리콘계 고무조성물의기계적 물성을 측정하였고, OLED 기판합착 공정 시 다양한 온도에서 공정이 진행된다는 점을 고려하여 25℃, 50℃, 80℃에서 인장강도를 평가하여 온도에 따른 점착척의 물성을 비교하였다. 또한, 점착력을 측정하기 위해 Peel test를 진행하였고, 글라스 기판 흡착특성은 본 연구에서 고안한 점착력 측정장치를 통하여 점착력을 측정하였으며, 반복 횟수에 따른 점착척의 내구성을 평가하였다. 결과에 따르면 실리콘계 고무 중 불화실리콘계 고무가 기계적 물성 점착력 및 내구성 측면에서 상대적으로 우수하여 OLED용 점착척 소재로 가장 적합함을 알 수 있었다. |
