| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2017년 가을 (11/08 ~ 11/10, 부산 벡스코(BEXCO)) |
| 권호 |
21권 2호 |
| 발표분야 |
나노_포스터 |
| 제목 |
Deposition of Cu thin film on fiber substrates by RF magnetron sputtering for cylindrical capacitor |
| 초록 |
본 연구에서는 RF magnetron sputtering을 이용해 구리 박막층을 원통형 단일섬유에 증착하였다. 내부전극과 외부전극 둘 다 구리 박막층을 이용하였고 유전층은 PVP와 PVA를 사용하였다. 균일한 유전층의 코팅을 위해 전극을 증착한 뒤 dip-coating 방법을 이용하였다. 구리 박막층은 회전 장치를 이용한 결과 균일하게 성장한 모습을 보였으며 전극으로서 우수한 특성을 가졌다. FESEM을 통해 전극층과 유전층의 모습을 확인하였으며 AFM 분석을 통해 표면 상태를 확인하였다. |
| 저자 |
장주희, 엄태훈, 한정인
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| 소속 |
동국대 |
| 키워드 |
RF magnetron sputtering; copper thin film; cylindrical capacitor; wearable device; PET single fiber
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