| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2007년 가을 (11/02 ~ 11/02, 성균관대학교) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | Fabrication of one dimensional nano pore array |
| 초록 | 양극산화 알루미나 나노 템플레이트(AAO)는 간단한 제작과정에 비해 그 응용분야가 매우 넓다. 나노 소자들의 크기를 조절하고 템플레이트 자체의 배열을 이용하여 전자소자에 이용이 가능하기 때문에 중요한 나노기술로 인정받고있다. 1-D 나노 템플레이트는 기존의 2-D 템플레이트에 비해 공정 시간과 비용을 단축시킬 수 있고 planer processing에 더 적합하기 때문에 주목받고 있다. 본 논문에서는 Si substrate 위에 Al을 증착하고 다시 SiO2를 증착하여 1-D 나노 템플레이트를 제작하였다. |
| 저자 | 김동윤, 전흥우, 정일섭 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | anodic aluminum oxide; anodization; nanopore |
