| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2014년 가을 (11/27 ~ 11/28, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 2호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 | LDS소재의 레이저 처리 공정 변수에 따른 패턴 관측 |
| 초록 | 복합재료인 LDS 소재는 절연체이면서 레이저에 의해 활성화 되어 무전해 도금을 통해 전도성 패턴을 형성 할 수 있다. 이때 레이저 처리 공정에 의해 패턴 형상과 최소 선폭의 크기가 달라진다. 이는 다음 공정인 무전해 도금에 큰 영향을 미친다. 도금 공정에서 불량이 발생하면 회로 구성 시 단락이 일어날 수 있으며, 도금 접착력의 하락으로 벗겨짐이 발생 할 수 있다. 본 연구에서는 LDS소재를 이용하여 레이저 공정 변수에 의한 패턴을 살펴보고 그에 따른 무전해 도금에 어떤 영향을 끼치는지 살펴본다. |
| 저자 | 양종욱, 유명재, 임호선 |
| 소속 | 전자부품(연) |
| 키워드 | LDS |
