| 초록 |
SF6은, 그 뛰어난 전기 절연성으로부터 가스 절연 개폐 장치에, 또 화확적 안정성으로부터 반도체 산업에 있어서의 클리닝 가스나 에칭 가스, 및 마그네슘 산업에 있어서의 커버 가스로서 폭넓게 이용되고 있다. 그렇지만, SF6는 지구 온난화 계수가 23,900배(CO2를 1으로서；적분 연수：100년)로 매우 크고, 대기 수명도 3,200년으로 긴 것으로부터 지구 온난화에의 영향이 염려되어 COP3 교토 회의에 대해 배출 삭감 목표의 대상 가스로 지정되었다. 우리나라의 SF6 배출량은 감소하고 있지만 생산량은 최근 몇년간 증가추세에 있다. 다시 사용할 수 없는 SF6나 불필요하게 된 SF6는 분해처리할 필요가 있다. 본 연구에서는 관형반응장치를 사용하여 SF6의 겉보기분해속도에 관한 기초적인 매개변수를 구한 결과 다음 결과가 얻어졌다. SF6분해반응속도는 분위기가스로서 He, Ar 중 어느 것을 이용했을 경우에 대해도, SF6농도에 대해서 일차만응이며, SF6분해반응의 활성화 에너지는 분위기가스를 He로 했을 경우 354KJ/mol, Ar로 했을 경우 371KJ/mol이었다. |
