| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 | CuO 나노선 가스센서의 감응특성 Synthesis and sensing properties of CuO nanowire gas sensors |
| 초록 | 최근 나노선, 나노섬유, 나노막대 등의 나노구조의 물질은 다양한 분야에 적용 가능하단 점 때문에 이에 대한 연구가 국내외적으로 활발히 이루어져 왔다. 특히, 나노선은 부피에 비해 매우 넓은 표면적을 가지며, 높은 결정성을 지니고 있어 가스센서로 적용했을 때 우수한 감응 특성을 보인다. CuO는 p형 반도체 물질로 화학적으로 매우 안정하고 전기적, 자성적으로 우수한 특성을 지니고 있다. 본 연구에서는 SiO2 기판에 DC 스퍼터링을 이용하여 원하는 패턴으로 Cu 박막을 증착한 뒤 장시간 열처리하는 방법으로 네트워크 CuO 나노선을 형성하였다. 이렇게 형성한 나노선 가스센서의 감응 특성과 여러 종류의 가스에 대한 감응 특성을 조사하였으며, 기존의 n형 나노선 가스센서와 비교하였다. |
| 저자 | 선건주, 최선우, 김상섭 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | p-type; nanowire; gas sensor; thermal oxidation |
