| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트) |
| 권호 |
14권 1호 |
| 발표분야 |
전자재료 |
| 제목 |
Decoupling용 capacitor 내장을 위한 LTCC 기판의 cavity 구조 최적화 |
| 초록 |
최근 비용 절감과 특성 향상을 위한 수동 소자 내장 기판에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그 중에서 IC와 capacitor의 연결 경로를 줄임으로써 ESL (Equivalent series inductance)을 현저히 감소 시킬 수 있는 capacitor의 내장에 대한 연구가 주를 이루고 있다. LTCC (low temperature co-fired ceramics)에 decoupling용 capacitor를 내장하는 공법으로는 LTCC 층간에 그린 상태의 고유전율 재료를 적층 하여 소성하는 ILC (Inner layer capacitor) 타입과 소성된 via type의 MLCC를 LTCC에 미리 형성해 둔 cavity에 삽입하여 소성하는 CEL (Capacitor embedded LTCC)방식이 있다. 본 연구에서는 CEL 방식으로 capacitor 내장 세라믹 다층 기판을 제작하고, dalam 등의 구조적 결함을 해결하기 위한 cavity 구조에 대해 연구하였다. |
| 저자 |
임선아, 홍기표, 최용석
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| 소속 |
삼성전기 |
| 키워드 |
LTCC; embedded; capacitor
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| E-Mail |
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