| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2016년 봄 (05/02 ~ 05/04, 여수 엑스포 컨벤션) |
| 권호 | 20권 1호 |
| 발표분야 | 나노_포스터 |
| 제목 | QMS 신호의 FFT와 Histogram 분석을 이용한 Al2O3 ALD 공정진단 |
| 초록 | ALD(Atomic layer deposition) 공정은 다양한 분야에서 나노장치의 제작에 이용되어지고 있다. 산업적 측면에서 이런 공정을 진단하는 것은 중요하지만 이에 대한 연구는 충분치 않다. 본 논문에서 공정진단에 초점을 맞추어서 Al2O3 ALD process의 공정 중 QMS signal들을 FFT와 Histogram Analysis 분석을 통해서 data mining하였다. 이를 통해서 QMS를 이용한 적절한 ALD 공정진단 방법을 제시하고 비슷한 두 가지 ALD 공정의 분석을 통해서 유효성을 실증하였다. |
| 저자 | 강고루, 윤주영, 안종기, 오남근, 남민우 |
| 소속 | 한국표준과학(연) |
| 키워드 | ALD process; process diagnosis; Quardropole Mass Sepctroscopy; Al2O3; Fast fourier transform analysis; Histogram analysis |
