| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교) |
| 권호 |
15권 2호 |
| 발표분야 |
환경.에너지 |
| 제목 |
폐실리콘슬러지의 고/액 분리에 대한 연구 |
| 초록 |
실리콘 웨이퍼는 고순도의 괴상 실리콘 다결정으로부터 단결정의 실리콘 잉곳을 만들고, 이를 절단하는 절단공정과 절단된 웨이퍼를 연마하는 연마공정을 거쳐 제조된다. 현재 국내 실리콘 웨이퍼 제조를 위한 실리콘 잉곳의 절단공정에서 발생하는 폐슬러지를 회수하여 재활용하는 기술이 개발 적용중이나 아직 폐슬러지는 매립 처분되어 재활용되지 않고 있다. 따라서 본 연구에서는 폐실리콘슬러지로부터 일부 실리콘카바이드와 절삭유를 회수한후 최종적으로 폐기되는 폐실리콘슬러지의 재활용 방법을 개발하기 위하여 킬른(Kiln) 형 고/액분리를 통해 온도, 가열시간을 통해 고상성분(실리콘과 실리콘카바이드)과 절삭유(Ethylene Glycol base)를 분리하는 방법을 고찰하였다. |
| 저자 |
POUDEL JEEBAN, 최경석, Nawaraj Sanjel, Malesh Shah, 오세천
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| 소속 |
공주대 |
| 키워드 |
폐실리콘슬러지; 실리콘카바이드; 절삭유; 고/액분리
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| E-Mail |
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