| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | Al/SWCNT bilayer 전극을 적용한 TTFT 접촉 저항 특성향상 (Improvement of TTFT contact resistance using the Al / SWCNT bilayer electrode) |
| 초록 | Single-wall carbon nanotube (SWCNT)는 우수한 열 전달특성, 탄성 강도, 전기적, 광학적 특성이 뛰어나기 때문에 대표적인 투명전극 재료인 indium-tin-oxide (ITO)를 대체할 수 있는 물질로 많이 연구되고 있다. 소자 응용에 있어 SWCNT와 반도체 접합면 에서의 접촉저항은 금속과 반도체 접합면 에서의 접촉저항보다 많이 높다. 이러한 높은 접촉저항으로 인해 캐리어의 이동도 소실이 발생하기 때문에 전기적 특성의 저하를 유발한다. 그러므로 소자의 전기적 특성을 높이기 위해서는 접촉저항을 낮추는 것이 필수적이다. 본 연구에서는 SWCNT와 채널층 사이의 접촉 저항을 낮추기 위해 Al/SWCNT bilayer 전극을 제작하고 transparent thin film transistor (TTFT)에 적용하고자 하였다. ITO glass 위에 atomic layer deposition (ALD) 공정을 이용하여 hafnium-oxide (HfO2) 절연층을 형성하고, 채널물질로 indium-zinc-oxide (IZO)를 spin-coating 공정을 이용하여 증착하였다. Evaporation 공정을 이용하여 Al을 5, 7, 9 nm 증착하고 spray-coating 방법으로 SWCNT를 코팅하여 Al/SWCNT bilayer 전극을 형성하였다. 제작된 소자의 특성 평가를 위하여 Transmittance line method (TLM)를 이용하여 전극과 채널층 사이의 접촉저항을 측정하였으며, I-V 특성 분석을 통해 Ion/Ioff ratio, 이동도, sub-threshold swing, 문턱전압 등의 전기적 특성과 UV-vis-NIR 분석을 통한 광학적 특성을 바탕으로 투명전극으로서의 적합성을 평가하였다 |
| 저자 | 이수정1, 김윤철1, 이태일2, 명재민1 |
| 소속 | 1연세대, 2가천대 |
| 키워드 | Single-walled carbon nanotube (SWCNT); Spray coating; Al/SWCNT bilayer electrode |
