| 초록 |
나노 패터닝 공정 기술은 semiconductor 분야뿐만 아니라 optical device, display, fuel cell, MEMS/NEMS device, nano-fluidic device등 다양한 분야에 적용이 가능하다. 하지만 기존의 나노 패터닝 공정 기술은 대부분 평면 기판 위에서만 적용이 가능하여 많은 제한을 가지고 있다. 이 중 나노임프린트 리소그래피 기술은 수십 나노 크기의 표면 요철을 갖는 몰드로 소프트한 폴리머를 눌러서 폴리머 층에 손쉽게 나노 패터닝을 하는 기술로 스탬프가 유연할 경우 곡면등 비평면층에도 쉽게 나노 패턴을 형성할 수 있다. 본 논문에서는 여러 종류의 유연한 나노임프린팅 스탬프를 사용하여 투명한 아크릴 원통 표면에 다양한 나노 패턴을 형성하였다. 유연한 스탬프로는 우선 PET등의 유연한 기판 위에 UV 나노임프린트 리소그래피를 이용하여 sub 100nm 크기의 미세 패턴을 가지는 thermoset polymer 패턴을 형성하여 사용하였고 [1], 두 번째 방법으로는 동일한 패턴을 가지는 얇은 (50μm 이하 두께) 니켈 foil 스탬프를 사용하였다. 임프린트 공정은 진공 챔버 내에서 아크릴 원통4과 brass 형틀사이에 유연한 스탬프를 넣고 170℃, 10bar의 조건으로 약 20분간 온도와 압력을 균일하게 가한 후 상온에서 분리하였다. 임프린트 결과 thermoset polymer stamp, 니켈 스탬프 두 경우 모두 sub 100nm 패턴 형성에 성공하였다. |
