화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2005년 봄 (05/26 ~ 05/27, 무주리조트)
권호 11권 1호
발표분야 전자재료
제목 초미세 PZT 입자를 이용하여 Fe계 비정질 리본의 저항막 제조
초록 Fe계 비정질 리본의 표면저항 특성을 증진시키기 위해 PZT를 사용하여 딥 코팅법에 의해 Pb(Zr, Ti)O3 PZT 저항 코팅 막을 제조하였다. PZT 저항 코팅막 제조를 위해 PZT 입자를 1차 분쇄하여 PZT 슬러리를 제조하고 pH에 따른 슬러리의 응집 분산 거동을 입자 크기와 제타 전위를 이용하여 측정하였다. PZT 입자의 등전점은 pH 8 부근에서 관찰되었고 pH 10이상에서는 제타전위가 (-)30[mV]이상으로 나타났다. 2 차 분쇄는 pH 10에서 2시간 동안 어트리션 밀을 이용하여 실시하였으며 이때 크기는 약 150nm 정도였으며 이를 이용하여 딥-코팅용 슬러리 제조를 위하여 분산제, 결합제, 가소제를 wt% 비율로 첨가( 분산제 0.3, 결합제, 가소제 1wt% )하여 최적의 슬러리를 제조하였다. Fe계 비정질 리본의 젖음성을 증진시키기 위하여 표면 개질을 실시하였고 접촉각 촬영기를 이용하여 표면개질에 따른 접촉각을 촬영하였다. 그리고 딥-코팅 시 인장시간과 Fe계 비정질 리본의 슬러리 내의 유지시간 별로 코팅 막을 제조하여 미세구조 및 저항 값을 관찰하였다. 제조 된 코팅 막을 온도별(400~500℃)로 열처리하여 우수한 저항 특성을 나타내는 저항막을 제조할 수 있었으며, 이는 적층하여 사용되는 Fe계 비정질 리본의 저항 층으로 응용할 수 있을 것으로 판단되었다.
저자 김용남1, 박재흥1, 정재욱1, 전병세1, 오영우1, 김종령1, 이해연2, 김현식2
소속 1경남대, 2(주)매트론
키워드 PZT; Fe계 비정질 리본; 응집분산거동; 젖음특성; 딥 코팅
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